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特種氣體的供應(yīng)方式截至目前為止，幾乎皆用鋼瓶的方式進(jìn)行。一般常用的為高壓鋼瓶，依其填充的氣體特性有分為氣態(tài)和液態(tài)兩種。一般氣體依液態(tài)儲(chǔ)存于鋼瓶?jī)?nèi)，瓶?jī)?nèi)壓力較高，所以蕞佳方式是選用吸附式氣態(tài)鋼瓶，以氣體分子與吸附劑間的范德瓦力將氣體吸附于吸附劑孔隙中，其優(yōu)點(diǎn)為供氣壓力低于一個(gè)大氣壓，無任何泄漏的危險(xiǎn)，且供氣量為普通高壓鋼瓶的10倍，低蒸汽壓的氣體以液態(tài)儲(chǔ)存于鋼瓶?jī)?nèi)；針對(duì)易然易暴，有毒性腐蝕性的氣體，常將鋼瓶至于特氣柜中，再通過管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥箱，經(jīng)過一系列的控制而后進(jìn)入用氣點(diǎn)；一般惰性氣體以開放式的氣瓶架和閥盤供應(yīng)；具體方式如下：

現(xiàn)場(chǎng)制氣、管道供氣

這種供氣方式時(shí)將制氣設(shè)備建造在用氣量較大或者用氣品種較多的工廠內(nèi)或按區(qū)域設(shè)置供應(yīng)周邊各單位用氣。

高純氣體(High Purity Gases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對(duì)于氫，氮，氦，而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對(duì)于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮，氫，，氦可作為運(yùn)載氣，保護(hù)氣和配制混合氣的底氣。

高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體，和無機(jī)高純氣體。

1.氣相色譜法

氣相色譜法適用于氫氣、氧氣、氮?dú)狻?、氦氣、、二氧化碳等無機(jī)氣體，、、及C3以上的絕大部分有機(jī)氣體的分析。氣相色譜儀主要由氣路系統(tǒng)、進(jìn)樣系統(tǒng)、柱恒溫箱、色譜柱、檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。 用氣相色譜法分析標(biāo)準(zhǔn)氣體，要想獲得準(zhǔn)確可靠的分析結(jié)果，首先必須建立分析方法，選擇合適的操作條件和操作技術(shù)。

2.化學(xué)發(fā)光法

化學(xué)發(fā)光法是利用某些化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的發(fā)光現(xiàn)象對(duì)組分進(jìn)行分析的方法，具有靈敏度高，選擇性好，使用簡(jiǎn)單方法、快速等特點(diǎn)。適用硫化物、氮氧化物、氨等標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析。

3.非色散紅外分析法

非色散紅外氣體分析器是利用不同的氣室和檢測(cè)器測(cè)量混合氣體中的、二氧化碳、、氨、、、丙烷、丁烷、等組分的含量。

4.微量氧分析儀

微量氧分析儀：在高純氣體的分析中，幾乎所有的高純氣體中都要求準(zhǔn)確測(cè)定其中微量氧的含量。由于大氣中含有大量的（21%）氧，準(zhǔn)確測(cè)定高純氣體中微量氧乃至痕量氧，是氣體分析中的難點(diǎn)之一。

5.微量水分析儀

微量水分也是評(píng)價(jià)高純氣體質(zhì)量的主要指標(biāo)之一。幾乎所有的高純氣體都對(duì)水分有嚴(yán)格的要求，準(zhǔn)確測(cè)量和嚴(yán)格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質(zhì)量。